镁铝6061-T651是6系合金的主要合金，是经热处理预拉伸工艺的高品质铝合金产品，具有加工性能极佳、良好的抗腐蚀性、韧性高及加工后不变形、上色膜容易、氧化效果极佳等优良特点，是半导体设备的优良选择。现有传统的硬质阳极后工艺是不封闭或者采用醋酸镍等重金属盐封闭，封闭后的零部件由于金属盐自然沉积到阳极膜孔内，产生一定的间隙。其绝缘性达不到客户的期望，耐腐蚀和抗老化性能不佳、设备需要经常维护和保养，导致设备维护成本过高。

  针对上述存在的技术问题，为客服现有阳极膜封闭处理后的绝缘性能不佳、耐 腐蚀和抗老化性能不够的缺陷，本发明的目的是提供一种能提高阳极膜封闭后绝缘性和抵抗腐蚀能力的阳极膜封孔方法。为实现上述目的，本发明采用如下技术方案一种硬质阳极膜封闭方法，包括前处理和阳极氧化，在铝合金6061-T651硬质阳极氧化后，将铝合金零部件放入槽液中，进行封闭；其中，所述槽液为纯水，加入O. 0001-0. lg/L 醋酸，pH 值 4. 5-6. 8，温度 80_100°C，浸泡时间 1-8 个小时。所述槽液pH值5. 2-5. 8，温度90_100°C，浸泡时间4-8个小时。本发明的有益效果是采用本发明的封闭办法来进行封闭，是阳极膜自然收缩，堵塞阳极孔。因此，阳极膜的耐腐的能力更高，绝缘性更好。

  和实施例对本发明进行详细说明。实施例I :本实施例用于说明本发明提供的阳极膜封闭方法。I.前处理及阳极氧化(I)打磨用砂纸将尺寸为200x100x20mm的AL 6061-T651铝合金基材(国外进口)打磨，将铝合金基材表面的粗糙的自然氧化膜去掉，直到铝合金基材表面显现出金属光泽即可。(2)阳极氧化将上述经过打磨的铝合金经过脱脂、碱咬、酸洗、阳极氧化。2.封闭工艺将阳极氧化后的试片放入封闭槽，槽液主要为纯水，加入O. 0001-0. lg/L醋酸，pH值5. 5，温度98°C，浸泡时间6小时。对比例I :采用与实例I同样的处理流程，在封闭工艺中，将阳极氧化后的试片放入醋酸镍封闭槽中，槽液成分为5g/L醋酸镍，pH值5. 5，温度68°C，浸泡60分钟；与实施例I的不同之处在于槽液成分不同，封闭原理不一样；实施例I是纯水和阳极膜自然结合，生成结晶；对比例I是重金属离子镍和阳极膜结合，生成复杂的络合物。测试数据I.膜厚按GB/T 4957无损涡流法测试，封闭前49. 7 μ m，实施例I封闭后44. 5 μ m，对比例I封闭后50. 3 μ m，尺寸基本不变；表I膜厚测试数据对比

  1.一种硬质阳极膜封闭方法，包括前处理和阳极氧化，其特征是在铝合金6061-T651硬质阳极氧化后，将铝合金零部件放入槽液中，进行封闭；其中，所述槽液为纯水，加入O. 0001-0. lg/L醋酸，pH值4. 5-6. 8，温度80-100°C，浸泡时间1-8个小时。

  2.如权利要求I所述的硬质阳极膜封闭方法，其特征是所述槽液pH值5.2-5.8，温度90-100°C，浸泡时间4-8个小时。

  一种硬质阳极膜封闭方法，属于金属表面处理工艺技术领域。包括前处理和阳极氧化，在铝合金6061-T651硬质阳极氧化后，将铝合金零部件放入槽液中，进行封闭；其中，所述槽液为纯水，加入0.0001-0.1g/L醋酸，pH值4.5-6.8，温度80-100℃，浸泡时间1-8个小时。采用本发明的封闭办法来进行封闭，是阳极膜自然收缩，堵塞阳极孔。因此，阳极膜的耐腐的能力更高，绝缘性更好。

  发明者袁林锋, 董祥虎, 刘伟杰, 宁尚清, 杨帅帅 申请人:沈阳富创精密设备有限公司

  设计和制备新能源电极材料研究材料在氢气、氧气、二氧化碳等能源小分子电催化转化中的应用，通过先进表征手段和理论模拟计算理解催化位点和反应机理，力图发展几种具有应用前景的电催化剂材料。

  多酸团簇、金属有机框架材料的合成性能研究与计算模拟，最重要的包含： 1.多酸团簇-无机晶核共组装进行光催化分解水制氢与二氧化碳还原； 2.低维多孔材料的结构与催化性能的研究。

  低维纳米材料（纳米颗粒、纳米线/管/框/片、二维材料）的电子显微分析以及基于电子显微分析结果的先进能源材料设计、制备和器件应用。

  新能源材料设计、合成及应用研究。最重要的包含：1二氧化碳电催化还原、电催化分解水制氢等；2原子界面电极材料的制备及能量转换技术探讨研究。